平面气溶胶喷射头

毫米级单程沉积

把圆形喷嘴压成扁平矩形,就能在单次扫描中生成准直平面射流,实现传统圆形喷嘴无法达到的毫米级、超低纵横比沉积。

Zenan, Niu · 伊浩 · Yufeng, Jin · 陈珊珊 · 董祉序 · Chua, Chee Kai · 曹华军

Advanced Science 2025

参数信息

厚度
<500 nm

技术优势

降低层间堆积与电各向异性

采用交错沉积策略可减少多层打印时的层间材料堆积,从而降低薄膜的电各向异性。

应用场景