飞秒激光抛光碳化硅陶瓷

表面光滑无坑

通过小角度入射消除坑洞光陷阱效应，实现了无坑洞的光滑表面。

Zheng, Qingzhen · 梅雪松 · 姜歌东 · Yan, Zhaoxuan · 凡正杰 · Wenjun, Wang · 潘爱飞 · 崔健磊

Surfaces and Interfaces 2023

参数信息

入射角

10 °

技术优势

平均Sa 0.187 μm

Sz 2.313 μm