LAGP玻璃双面微槽

飞秒激光免熔刻蚀

通过贝塞尔光束飞秒激光在LAGP玻璃固态电解质双面同步刻蚀出微槽结构，有效避免热熔损伤，且槽尺寸和深度可控。

Liu, Weihang · 江开勇 · Kotobuki, Masashi · 颜丙功

Journal of Laser Applications 2024

参数信息

焦深

2 mm

技术优势

不会烧熔

飞秒激光脉冲极短，能量来不及转化为热，样品表面不会熔化，保持玻璃态结构。

槽宽槽深可调

调整望远镜系统参数即可控制沟槽的宽度和深度，适应不同接触需求。

应用场景

• 固态电解质表面结构化：在电解质片表面制造微槽以增大接触面积，降低界面电阻。
• 固态电池界面改性：用微结构化表面改善电极与电解质的机械互锁，提升循环稳定性。
• 飞秒激光微加工：演示利用贝塞尔光束实现无热损伤的厚透明材料双面微加工。