灵敏宽域兼顾
通过二次复型与石蜡中间模实现高保真、可批量制造的三维多级结构,使传感器在保持高灵敏度的同时具备超宽检测范围。
Duo, Ma · Qihang, Song · 陈晓明 · 尉萍萍 · 陈其 · 赵虎 · Chen, Xiaoliang · 张杰 · 邵金友
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