三维多级结构压力传感器

灵敏宽域兼顾

通过二次复型与石蜡中间模实现高保真、可批量制造的三维多级结构，使传感器在保持高灵敏度的同时具备超宽检测范围。

赵虎

Small 2026

参数信息

灵敏度

0.219 kPa⁻¹

检测范围高

809 kPa

次循环加载后偏差小于

4 %

批次间体积归一化初始电阻偏差

<2.5 %