阻硅扩散更有效
作为钽基硅化物涂层的扩散阻挡层，TaB₂比无阻挡涂层更有效抑制硅元素扩散。
肖来荣 · Xu, Jiawei · 周晓君 · Zhang, Yafang · Guangzhi, Deng · Shen, Hongtai · 李伟 · 赵小军 · 蔡圳阳
Materials 2023