TaB₂扩散阻挡层

阻硅扩散更有效

作为钽基硅化物涂层的扩散阻挡层，TaB₂比无阻挡涂层更有效抑制硅元素扩散。

肖来荣 · Xu, Jiawei · 周晓君 · Zhang, Yafang · Guangzhi, Deng · Shen, Hongtai · 李伟 · 赵小军 · 蔡圳阳

Materials 2023

具体参数

扩散层厚度变化率

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Al O

{'zh': '96.5', 'en': '96.5'} wt