飞秒激光混合制造

并行直写省时16倍

集成飞秒激光烧蚀与双光子聚合，在片上直接制备太赫兹表面等离激元波导，性能媲美聚焦离子束加工，且激发区制备时间缩短至1/16。

Jia, Erse · Xie, Chen · Yue, Yang · Ma, Xinyu · Shixian, Sun · 栗岩锋 · 张学迁 · Ai Chengjun

Photonics Research 2024

技术优势

制备时间缩短至1/16

表面等离激元波导亚波长场局域

性能媲美基于聚焦离子束的器件