迄今最小柔性晶体管
在PET柔性基底上实现了沟道长度仅30nm的碳纳米管场效应晶体管，展示出碳纳米管在超小尺寸柔性电子器件中的优异缩放能力。
杨雷静 · 李昊 · Haojin, Xiu · Meng, Deng · Qinghua, Tian · Qi, Zhang · Xiangjun, Xin
Carbon 2023
器件间距仅为230 nm，是迄今柔性晶体管中最小的，可提高单位面积的器件数量。
在深亚微米和纳米沟道长度下，器件产率仍达60%（33/56），受益于衬底预处理，显示出批量生产的潜力。
沟道缩短至30 nm时开态电流仍达103 μA/μm（Vds=−0.8 V），且归一化开态电流随沟长缩短而提升，表明碳纳米管适合超小柔性器件。