耦合MEMS谐振器

非线性灵敏度提升5倍

利用软化Duffing非线性显著增强幅度比的灵敏度,电荷传感分辨率相比线性方案提升近5倍。

Zhonghua, Liu · Yuzhi, Chen · 王雪峰 · Xu, Yutao · Hongsheng, Dai · 石战 · Haibo, Wan · Xueyong, Wei · 宦荣华

International Journal of Mechanical Sciences 2024

参数信息

电荷传感分辨率提升倍数
5 ×

技术优势

灵敏度大幅提升

实验与理论首次证明软化Duffing非线性使幅度比的灵敏度相比线性情况显著提高,为高灵敏传感器设计提供了新机制。

电荷分辨率提升近5倍

基于非线性模态局部化的电荷传感方案相比线性方案实现了几乎5倍的电荷传感分辨率提升,直接提高检测精度。

不改变器件结构

通过分析和利用系统中固有的软化Duffing非线性即可获得增强,无需重新设计或更换器件,便于现有平台升级。

应用场景