宽量程高灵敏
飞秒激光在PDMS表面刻蚀波纹,让接触面积随压力动态调节,宽量程与高灵敏兼得。
Cao, Peilin · 王聪 · 贾贤石 · Dejin, Yan · Lin, Nai · Jiang, Xiaohu · Wang, Yonghua · Liu, Linpeng · 段吉安
Surfaces and Interfaces 2026
波纹结构随压力变形调节接触面积,在0.5–500 kPa范围内保持高灵敏度3.8 kPa⁻¹。
采用飞秒激光直接烧蚀PDMS,避免了传统微结构制造的多步复杂工艺。
在6.3–230 kPa压力范围内输出线性度R²=0.994,便于信号处理与标定。
历经7000次加载-卸载循环仍保持稳定性能。