波纹结构柔性压力传感器

宽量程高灵敏

飞秒激光在PDMS表面刻蚀波纹,让接触面积随压力动态调节,宽量程与高灵敏兼得。

Cao, Peilin · 王聪 · 贾贤石 · Dejin, Yan · Lin, Nai · Jiang, Xiaohu · Wang, Yonghua · Liu, Linpeng · 段吉安

Surfaces and Interfaces 2026

参数信息

压力范围
0.5–500 kPa
灵敏度
3.8 kPa⁻¹
线性度
0.994
循环稳定性
7000 cycles
识别准确率
97.33 %

技术优势

宽量程高灵敏兼得

波纹结构随压力变形调节接触面积,在0.5–500 kPa范围内保持高灵敏度3.8 kPa⁻¹。

工艺简单

采用飞秒激光直接烧蚀PDMS,避免了传统微结构制造的多步复杂工艺。

线性度好

在6.3–230 kPa压力范围内输出线性度R²=0.994,便于信号处理与标定。

稳定耐用

历经7000次加载-卸载循环仍保持稳定性能。

应用场景