低压段超高灵敏
引入侧弯微结构,在低压力下实现局部变形,灵敏度远超常规微结构设计。
Hai-Di, Qiao · 刘夏 · Zhang, Xingyu · Jia-Yue, Zhang · 殷明杰 · 杨庆生
Journal of Materials Chemistry C 2024
侧弯微结构在微小压力下即产生局部变形,引起电容显著变化,灵敏度远超金字塔、半球等常规微结构。
从 78 Pa 的微弱压力到 11 kPa 的明显按压,传感器均能精确响应,覆盖日常触觉交互场景。