SnO₂/MoO₃双层膜

200天响应仅降1.64%

MoO₃缓冲层显著提升SnO₂薄膜的完整性与一致性,异质结增强对NO₂的响应,使传感器达到ppt级检测限并具备超长稳定性。

Tang, Jiahong · Sinan, Feng · Huiyu, Su · Zhu, Chaoqi · Chaofan, Ma · 王晓夏 · 朱强 · 曾大文

Sensors and Actuators, B: Chemical 2026

参数信息

对150 ppb NO₂的响应值
7.20
响应提升倍数
3.3
200天响应变化
−1.64 %
最佳MoO₃溅射时间
3 min
最佳退火温度
450 ℃
最佳退火时间
2 h

技术优势

响应提升3.3倍

MoO₃与SnO₂形成异质结,增强了对NO₂的响应,150 ppb下响应值从纯SnO₂的2.18提高到7.20。

200天几乎不衰减

MoO₃缓冲层提高了薄膜完整性,长期测试中响应下降仅−1.64%,远低于纯SnO₂的−20.88%。

检测限到ppt级

该传感器能够检测到ppt浓度的NO₂,适用于极低浓度气体监测场景。

应用场景