AlCrTiV中熵合金薄膜

耐腐蚀

通过工艺参数优化获得致密钝化膜，显著提升在盐水环境中的耐腐蚀性能。

刘盈 · 蔡召兵 · Juanjuan, Hu · Lei, Yan · Wang, Bingxu · Gu, Le

Vacuum 2025

参数信息

最佳溅射功率
800 W
最佳基底温度
400 °C
最佳偏压
100 V
腐蚀溶液浓度
3.5 wt %
实验组数
9

技术优势

参数易调控

采用正交实验设计系统优化溅射功率、基底温度和偏压，快速确定最佳工艺窗口。

耐蚀机理明确

腐蚀形式为点蚀，点蚀坑中Cr和O富集与Cr₂O₃钝化膜的破裂和再生有关，为后续改进提供依据。

成分简单

仅含Al、Cr、Ti、V四种常见金属元素，不依赖贵金属或稀土，易于工业化放大。

应用场景