硬度31.8 GPa
通过双极脉冲磁控溅射交替沉积AlTiN与MoVCuN子层,形成共格外延结构,实现显著优于单层涂层的致密化与残余应力调控。
梅海娟 · 王瑞 · Geng, Dongsen · 闫凯 · Youqu, Shen · Qingfeng, Zhu · Ding, Jicheng · 邹长伟 · 龚伟平 · 王启民
Journal of Materials Research and Technology 2025
多层结构通过致密化和高残余应力使硬度达到31.8 GPa,超过传统单层涂层。
提高转速使涂层微观结构显著致密化,减少缺陷,提升力学性能。
由于调制周期≤1.0 nm,AlTiN与MoVCuN子层之间实现共格外延,界面结合强,避免分层。