钛涂层金刚石磨料

机械化学研磨金刚石

磨料表面钛涂层与金刚石反应，使半导体衬底金刚石膜的去除率大幅提高。

Yingke, Zhou · Jianbing, Zang · Su, Shengyao · Chaoyang, Zhang · Lixiang, Zhao · 袁云岗 · 王艳辉 · 陆静 · Xipeng, Xu · Zhang, Pingwei

Applied Surface Science 2023

具体参数

研磨压力

{'zh': '300', 'en': ''} N

研磨转速

{'zh': '600', 'en': ''} rpm