杂散光抑制提升10倍
一种无需光吸收涂层、通过非对称反射面改变杂散光反射方向的光学内壁微结构，专为无遮光罩光学系统设计。
邵晶 · Zhuo, Li · 聂真威 · Dong, Hao · Yingming, Wang · Junyue, Sun · 张海涛 · Zhao, Facai
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica 2023
与常规阳极氧化表面相比，该微结构将离轴杂散光的相对反射率降至其10%，显著减弱了镜面反射分量。
该微结构表面未添加任何光吸收涂层，仅通过几何反射特性实现杂散光抑制，避免了涂层可能带来的额外质量和工艺复杂性。
开发了激光振镜倾斜加工系统，能够在铝合金表面制备出前后反射面夹角接近设计值90°的非对称微结构，为批量制造提供可行途径。
在1600 mm/s扫描速度下，所得微结构前后反射面平均夹角为93.5°，与设计值90°偏差仅3.5°，表明加工参数能够较好复现设计几何形状。