非晶Ti(Nb)-Si-C涂层

高温抗氧化导电

该涂层在预氧化不锈钢表面形成双层氧化皮,同时阻挡Cr外扩散,解决了互连件的氧化与Cr毒化难题。

Li, Xichao · Yongchen, Chi · Wei, Shouli · Xianwei, Sun · Jingxiang, Zhao · Qiangqiang, Hou · Kang, Fu · Dai, Zuoqiang · Zheng, Lili

Materials 2024

具体参数

氧化抛物线速率常数
{'zh': '9.36×10⁻¹⁵', 'en': '9.36×10⁻¹⁵'} g²·cm⁻⁴·s⁻¹
面积比电阻 (ASR)
{'zh': '13.57', 'en': '13.57'} mΩ·cm²

技术优势

氧化速率降一个数量级

涂层使氧化遵循抛物线规律且速率常数为9.36×10⁻¹⁵ g²·cm⁻⁴·s⁻¹,显著低于未涂层合金。

有效阻挡Cr挥发

非晶涂层本身充当扩散阻挡层,防止Cr向外扩散并形成有害相。

长期高温低ASR

800 °C空气中氧化500 h后面积比电阻仅13.57 mΩ·cm²,满足互连件导电要求。

应用场景