离子电子双路径调控
对比离子与电子辅助氧等离子体刻蚀，阐明其对纳米碳膜表面结构与成分调控的机制差异。
Guo, Meiling · Xu, Zhentao · 杨蕾 · Chaoyuan, Xu · 李鹏阳 · 王权岱 · 杨振朝 · 杨明顺 · Li, Yan
Surface and Coatings Technology 2023
通过离子辅助让氧正离子主导物理注入致密化，或电子辅助让中性氧优先刻蚀非晶碳，从而在两种表面修饰效果间切换。