灵敏度50.48Hz/kPa
通过硅岛位置与倾角优化，在0~300kPa量程内实现高灵敏度且保持线性输出。
Senhui, Chuai · Jieyao, Deng · Haoran, Li · 陈凯 · 耿航 · 王贻芳 · 曹慧亮
IEEE Sensors Journal 2025
在0~300kPa范围内，谐振器工作模态阶次不随压力升高而改变，确保频率差输出线性。
通过优化敏感薄膜小挠度变形与硅岛倾角，谐振器灵敏度可达50.48Hz/kPa。
采用横向滑膜运动作为工作模态，结构稳定性好、耦合小，力传递方式为扭矩传递。