AZO/SiCN杂化压阻薄膜

灵敏度高达31195

利用AZO的压电效应耦合，大幅提升SiCN薄膜在压应力下的隧道电流，实现超高灵敏度。

Zhou, Qi · Duo, Yang · Pengchong, Xu · 学位 · 廖宁波

Chemical Engineering Journal 2024

参数信息

应变系数

6518–31,195

技术优势

灵敏度提升一个量级

杂化薄膜的应变系数高达6518–31,195，远高于单层SiCN和其他现有压阻材料，有利于微弱压力信号的检测。

高温下稳定工作

SiCN基材料在高温下具有优异稳定性和压阻性能，杂化薄膜适合在高温环境中原位测量压力。

适合大面积集成

该薄膜制备技术有望满足大面积电子器件快速发展的需求，有利于规模化生产和集成。

应用场景

• 高温压力传感：在高温环境中实时监测压力变化，替代不耐温的传统传感器。
• 大面积电子器件：作为大面积电子器件的敏感层，实现高灵敏度压力映射。
• 柔性压力传感器：薄膜结构可集成于柔性基底，用于可弯曲压力传感。
• 原位压力测量：直接在工况位置测量压力，无需拆卸或中断过程。