室温超宽检测范围
通过硫氮共掺杂比例调控，使同一黑硅材料在室温下兼具超高响应、超快响应恢复和抗湿度干扰等多种NO2传感特性，适应不同应用需求。
Wenjing, Wang · Li, Hua · Liu, Xiaolong · Ma, Shengxiang · Zhao, Yang · Binbin, Dong · 黎元 · 宁西京 · 赵利 · 庄军
Sensors and Actuators, B: Chemical 2023
在SF6/NF3压力比56/14时相对响应达到3955% @20 ppm NO2，得益于共掺杂诱导的结构缺陷和形貌变化。
SF6/NF3为7/63的样品响应/恢复时间缩短至17 s/47 s @20 ppm NO2。
SF6/NF3为63/7的样品响应光电流受湿度扰动较弱。
传感器在3个月内保持可接受的长期耐久性。