马赫2环境高稳健
通过浮动盖板保护设计，解决了MEMS剪应力传感器在恶劣环境下易失效的难题，实现高稳健高精度测量。
Liu, Yunzhe · Chuqiao, Wang · Ding, Guanghui · Zhang, Xingxu · 邓进军 · 杨合 · 马炳和 · 苑伟政
Microsystems and Nanoengineering 2025
浮动盖板遮蔽敏感结构，使其免受高速气流颗粒冲击，从而避免结构断裂失效。
传感器响应足够快，在2.0马赫风洞中能完整记录边界层从建立到消散的全过程。
灵敏度达28.3 mV Pa⁻¹且线性良好，配合机电耦合模型可直接由输出推知壁面剪应力。