异质掺杂双模压力传感器

自驱动高灵敏

采用同质键合一体化结构，集成摩擦电与压电双模传感，实现稳定响应与可靠耐久。

Yu, Junbin · Xian, Shuai · Mu, Jinbiao · 王敏 · Yin, Wang · 侯晓娟 · Le, Zhang · Jian, He · 穆继亮 · 丑修建

Science China Information Sciences 2024

具体参数

灵敏度

1.04 V/10

Measurement range

700 kPa

技术优势

线性度约 0.984