自支撑PZT铁电薄膜

压电系数翻倍

厘米级自支撑PZT薄膜,压电系数达528 pC/N,约为传统夹持薄膜的两倍,可用于柔性自供能声学传感器。

Liu, Yang · Zhang, Zhang · Wang, Shuhao · 王进 · 刘立山 · Wang, Yaojing Jin · 杨益新

Nature Communications 2026

具体参数

压电系数
528 pC N⁻¹
薄膜面积
1 cm²
语音识别准确率
93 %

技术优势

无需牺牲层

利用水诱导钾离子浸出削弱界面,而不是靠腐蚀牺牲层,因此更环保、成本更低,且对薄膜无损伤。

压电系数翻倍

自支撑薄膜的压电系数达528 pC N⁻¹,约为云母上夹持薄膜的两倍,因为去除了基底夹持效应。

厘米级大面积

可剥离出1×1 cm²的自支撑薄膜,满足器件对大面积的需求。

语音识别准

基于该薄膜制备的柔性自供能声学传感器,语音识别准确率超过93%,可用于人机交互。

应用场景