纳米级精度调谐
采用d33模式岛形圆结构，在紧凑外形内实现纳米级分辨率的位移输出，可直接集成于微光学腔实现有源光程调制。
李鹏飞 · Xiao, Qingxiong · Zhu, Qixuan · Miao, Lei · 李婷 · 卢乾波
Micromachines 2026