压电薄膜致动器
纳米级精度调谐
采用d33模式岛形圆结构，在紧凑外形内实现纳米级分辨率的位移输出，可直接集成于微光学腔实现有源光程调制。
李鹏飞
Micromachines 2026
参数信息
位移输出低于
100 nm
一阶固有频率
约5.8 kHz
displacement response across
-6 V drive