超宽量程高灵敏
通过模量梯度设计,该互锁结构在保证高灵敏度的同时将工作范围扩展至530 kPa以上,突破了压容传感器灵敏度与量程的权衡。
Ma, Yan · 李卓 · Tu, Shuhua · Tianyu, Zhu · Xu, Wanqing · Chen, Min · Shi, Lan · Wu, Limin
Advanced Functional Materials 2024
非对称互锁结构为传统互锁提供充足形变空间,确保高灵敏度,最大灵敏度达9.89 kPa⁻¹。
梯度模量进一步扩展传感范围,工作范围可达530 kPa以上,适用于宽压力范围场景。
同时实现高灵敏度和超宽工作范围,解决了现有微结构传感器中两者难以兼得的难题。