优化膜片结构
通过参数自由设计优化压力敏感膜片结构，显著提升应力并降低非线性度。
Meng, Qinggang · 王军波 · 陈德勇 · 陈坚 · Xie, Bo · Lu, Yulan
Microsystems and Nanoengineering 2023