火花烧蚀打印气体传感器

一步制备高均一

将金属氧化物纳米颗粒的合成与沉积合并为单一火花烧蚀打印步骤，免去传统两步法中的转移瓶颈，实现高均一、可扩展的传感膜制备。

Zhenyuan, Tang · Yanshu, Gu · Shao, Xiaoli · Zhang, Jingyuan · Ziying, Hu · Mingdi, Zhang · Li, Jixiang · Zeming, Jin · 刘霞 · Tu, Min

Microsystems and Nanoengineering 2026

参数信息

四种气体分类准确率

>99 %

技术优势

免去材料转移

火花烧蚀打印在同一过程中完成纳米颗粒合成与在微热板芯片上的沉积，消除了传统两步法中转移步骤引入的不均匀性和不可重复性。

检测限达 ppb 级

该一步工艺可集成原始及贵金属修饰的金属氧化物，实现 ppb 级气体检测限，适用于痕量气体监测。

应用场景

• 气体传感：在空气监测、工业安全、危险气体检测中实现 ppb 级痕量检测。
• 环境监测：提供高一致性的传感阵列，结合机器学习实现多气体智能分类。