声光-振镜级联光束转向模组

微弧度级跟踪

用声光偏转器实时补偿振镜惯性误差，将大范围扫描与微弧度跟踪精度结合在同一模组中。

Yang, Kuai · Xuexuan, Li · 张铮

Control Engineering Practice 2025

参数信息

响应时间

10 μs

技术优势

精度达微弧度级

利用声光偏转器实时补偿振镜的跟踪误差，并通过频率域迭代前馈整定方法将误差稳定控制在补偿范围内。

微秒级响应

声光偏转器本身无机械惯性，响应时间可低至10微秒以下，使系统能够跟上高速加工需求。

大范围扫描

尽管加入了声光偏转器，系统仍保持振镜提供的亚弧度扫描范围，覆盖大面积加工区域。

应用场景

• 激光精密制造：用微弧度级跟踪精度实现大面积高精度激光加工，替代传统振镜扫描。
• 超快激光加工：响应时间低于10微秒，可跟上超快激光加工的高速度要求。
• 高速扫描系统：同时实现高速扫描与高精度跟踪，提升激光加工吞吐量。
• 光束跟踪控制：用声光偏转器实时补偿振镜误差，实现精确光束跟踪控制。