超精密抛光去除轮廓预测模型

将抛光液的流体去除贡献显式纳入机械去除机制,实现对材料去除轮廓的高精度预测。

Kang, Ning · 尹韶辉 · Li, Rong · Zhou, Renchen · Guo, Xipeng · Hong, Qiu

Tribology International 2026

参数信息

整体平均预测误差
3.6 %
抛光力从
1.5 N
主轴转速从
180 rpm