前三次谐波同步修整
突破传统仅顾及4次谐波的局限，谐振子不平衡质量的前三次谐波均可被识别并用飞秒激光修整。
Chen, Yimo · 士研 · Xi, Xiang · 于洋 · Lu, Kun · 肖定邦 · 吴学忠
Microsystems and Nanoengineering 2025
多模态弹性电极基底能分别响应前三阶谐波产生的径向离心力和轴向力，通过分解振动信息反算出各阶谐波。
采用飞秒激光烧蚀工艺去除不平衡质量，经多次迭代后前三阶谐波分别降低92.8%、89.3%、75.5%，有效抑制振动模式。
修整后由不平衡质量引起的摆动模式和轴向平移模式得到有效抑制，改善谐振子的振动特性。