关态击穿于2181 V
在关态漏极电压应力下,级联GaN基HEMT在漏电压2181 V时发生灾变性失效,击穿点位于GaN基HEMT的栅极与漏极之间。通过SEM、EDX和APT分析,发现击穿后原子分布变得不均匀,这可能与GaN和AlxGa1-xN层中位错增加有关,位错捕获电子导致局部电场增强,最终引发击穿。这些结果为提高级联GaN基HEMT的击穿电压提供了新的见解。
Hanlin, Liu · Pan, Chengbing · Hui, Li · Yibo, Ning · Huiying, Li · Xinyuan, Zheng · 赵丽霞
Journal of Alloys and Compounds 2025
击穿点位于GaN基HEMT的栅极与漏极之间
击穿后原子分布变得不均匀,可能与GaN和AlxGa1-xN层中位错增加有关
位错捕获电子导致局部电场增强,最终引发击穿