飞秒激光剥离铝膜

纳米级低损伤

实现层状材料表层金属的精准去除,基底损伤控制在纳米尺度,避免气化与热损伤。

Zhidong, Huang · Zeming, Feng · 蔡玉奎 · Teng, Zhang · Yunqing, Tang · Xing, Li · 梁晓亮 · Xichun Luo, Xichun · 刘战强

Journal of Materials Science and Technology 2026

技术优势

损伤纳米级

界面剥离机制将热影响区最小化,基底损伤被限制在纳米尺度。

避免气化

金属层通过应力波剥离,不经历气化过程,减少热损伤和能耗。

厚度自适应

剥离机制可根据金属层厚度调整去除过程,实现厚度自适应去除。

应用场景