S-超掺杂硅

室温测氨气

通过衬底电阻率优化实现室温下对NH₃的高响应、快响应/恢复速度和良好选择性。

黎元 · Li, Hua · 冯国进 · Wenjing, Wang · Dong, Binbin · 赵利 · 庄军

Applied Physics Letters 2024

参数信息

长期稳定性
2 months

技术优势

室温可用

无需加热即可在室温下工作,降低功耗并简化器件结构。

响应快

器件响应和恢复速度快,适合实时监测。

选择性好

对NH₃的选择性良好,降低误报率。

长期稳定

自然老化两个月后响应和响应/恢复时间保持在可接受水平。

应用场景