多晶金刚石平面化

选择性蚀刻

通过铁催化选择性热化学蚀刻，优先去除与铁接触的金刚石突起，为金刚石薄膜提供一种新的平面化途径。

Liu, Nian · 陆昊 · Haoran, Wang · Zhang, Yongjie · 肖峻峰 · 张建国 · 陈肖 · 许剑锋

Applied Surface Science 2026

技术优势

可在1000℃和1050℃实现平面化

选择性显著优于未接触铁的区域

蚀刻选择性源于Fe3C的形成与分解