自极化PZT压电薄膜

Liu, Lisha; Yi, Jiaojiao; Xu, Kun; Liu, Zhen; Le, Dai; Xuan, Gao; Liu, Yang; Wang, Shuhao; Zhang, Zhang; Liang, Shu; Li, Jingfeng; Zhang, Shujun; Wang, Yaojing Jin

自极化PZT压电薄膜

耐300°C退火

通过织构构建与分级异质工程，自极化PZT薄膜兼具高压电性与260°C以上封装工艺所需的热稳定性。

刘立山 · Yi, Jiaojiao · Xu, Kun · Liu, Zhen · Le, Dai · Xuan, Gao · Liu, Yang · Wang, Shuhao · Zhang, Zhang · Liang, Shu · 李敬锋 · Zhang, Shujun · Wang, Yaojing Jin

Nature Communications 2024

具体参数

压电电荷系数: 550 pC/N
高温下性能衰减小于: 16 %

技术优势

Pb(Zr0.52Ti0.48)O3成分

采用PbO-TiO2缓冲层