压阻/电容双模传感器

无串扰双模感知

以压阻膜同时作为自电容电极,实现压力和接近感知在单一结构中的无干扰融合。

Liu, Zhe · 陈殿生 · Ma, Junlin · Xinchi, Wang · Tingyu, Wang · Daiyu, Jia · Yutong, Liu

Sensors and Actuators, A: Physical 2024

参数信息

压力灵敏度
8.49 MPa⁻¹
接近灵敏度
2.75 % cm⁻¹

技术优势

两种感知不打架

压阻膜直接作为自电容电极,压力和接近信号在物理上解耦,实验验证在不同压力条件下接近性能不受影响。

集成度高一档

无需额外电极或叠层,单一压阻膜同时完成压力测量和电容式接近感知,减少了器件厚度和装配工序。

机器人能急停也能微调

在机械臂上贴装 6 阵列电子皮肤后,接近信号可触发暂停,压力信号可驱动伺服位置控制,直接服务于人机协作安全。

应用场景