二维压电激光扫描器

大孔径高精度

该扫描器采用等边三角形布置的三个压电驱动器，结合机载角度传感器和闭环控制，克服了压电迟滞非线性，实现高精度光束偏转。

罗冬 · 熊小刚 · Wei-Wei, Chen · Huang, Ruining

Review of Scientific Instruments 2023

参数信息

相对误差

0.5 %

偏转角度跟踪精度

40 μrad

技术优势

误差大降

闭环控制将相对误差从2%–4%降至约0.5%，提高了偏转角控制精度。

微弧度级瞄准

偏转角度跟踪精度约在40 μrad范围内，实现精准光束定位。

应用场景

• 激光精密加工：用于激光切割和打标等精密加工中的精确光束定位。
• 光学仪器：可作为光学仪器中的核心扫描部件，提升光束控制精度。
• 光束控制：用于激光束的快速高精度偏转控制。
• 精密制造：用于精密制造中需要微弧度级定位的光束控制。