激光烧蚀液态金属叉指电极

拉伸灵敏度碾压法向力

采用激光烧蚀直写氧化液态金属叉指电极，从根本上抑制法向力干扰，让柔性拉伸传感只对拉伸响应。

Yu, Tingting · Tang, Hongyao · Yang, Jiayi

Advanced Materials Technologies 2026

参数信息

拉伸力/法向力灵敏度比

2.9 × 10⁷ ×

技术优势

成本大幅降低

用激光烧蚀取代 MEMS/飞秒激光工艺，制造设备简单、效率高。

法向力干扰被抑制

传感器对拉伸的灵敏度远高于对法向力的灵敏度，从机理上避开法向力串扰。

应用场景

• 柔性应变传感器：提供对拉伸敏感、对法向压力不敏感的应变感知单元
• 电子皮肤：作为电子皮肤感知拉伸变形，避免接触压力的串扰
• 健康监测：在人体运动监测中准确采集拉伸应变，不受衣物压迫影响
• 软体机器人：为软体机器人提供抗法向力干扰的拉伸反馈