飞秒激光加工钼

热损伤更低

相比纳秒激光，飞秒激光在难熔金属钼上以气化去除材料，热影响区小得多，适合对热敏微结构进行高精度加工。

宁杰 · Yu, Han · Jiaxuan, Zhao · 张林杰 · Na, Suckjoo

Journal of Materials Research and Technology 2025

参数信息

深径比
21.8:1
再铸层厚度
0.5–1.5 μm
熔化区深度
3–4 μm
飞溅角
69.5 °
飞溅角
85.2 °
飞溅颗粒尺寸
200–500 nm
飞溅颗粒尺寸
1–5 μm

技术优势

热损伤小

飞秒激光烧蚀区无熔化层和裂纹，再铸层仅0.5–1.5 μm，而纳秒激光产生3–4 μm熔化区和残余应力裂纹。

深径比高

飞秒激光烧蚀区深径比达21.8:1，有利于加工深而窄的微结构；纳秒激光烧蚀区呈浅坑形貌。

飞溅颗粒细

飞秒激光产生的飞溅颗粒主要为200–500 nm球形，尺寸远小于纳秒激光的1–5 μm颗粒，减少对周围表面的污染。

应用场景