光纤LIBS杂质表征装置

原位定量测杂质

集成的光纤LIBS系统能够对托卡马克限制器表面的杂质沉积进行深度分辨的原位表征，并结合FIB-SEM提供精准的层厚估计。

孙昊 · Zhen-Hua, Hu · Jian, Wu · Li, Jinghui · Xinyu, Guo · 丁芳 · Wu, Huace · 周海山 · 丁锐 · Huantong, Shi · 李兴文 · 李建刚

Optics and Laser Technology 2026

参数信息

平均激光烧蚀速率约

250 nm/pulse

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87.28 %

技术优势

电子侧杂质积累更明显