0–450 kPa 线性高压敏
用脊-谷-砾多级微结构实现宽压力范围内近乎理想的线性响应,同时保持高灵敏度。
Zhang, Zi'ang · Jun-Wei, Chen · Yi-xin, Lu · Lin, Gong · Wenqing, Xu · Zhou, Quan · Yang, Limei · Du, Shuyuan · 潘革波
Sensors and Actuators, A: Physical 2026
脊-谷-砾多级结构实现分级接触,接触面积随压力线性增长,R²=0.99941。
在宽压力范围0–450 kPa内灵敏度达208.77 kPa⁻¹。
基于GCS理论与Persson理论构建模型定量评估电容响应。