复合磨料固结磨具

研磨效率倍增

采用Gr2O3-金刚石复合磨料，通过UV固化制备的固结磨具，在同等粒径下相比单晶金刚石磨具显著提升石英玻璃的材料去除率与摩擦性能。

王占奎 · Pengzhan, Wang · Fengsong, Dong · 逄明华 · 马利杰 · 赵红远 · 苏建修

Materials Science in Semiconductor Processing 2024

参数信息

材料去除率

4.13 μm/min

表面粗糙度Ra

115.829 nm

摩擦系数

0.0802

材料去除率

0.346 μm/min

表面粗糙度Ra

36.439 nm

摩擦系数

0.0396

技术优势

去除率翻倍

复合磨料在同等粒径下材料去除率达到4.13 μm/min，比单晶金刚石磨具的1.85 μm/min高出一倍以上。

摩擦性能更强

复合磨料固结磨具的摩擦系数为0.0802，高于单晶金刚石磨具的0.0492，摩擦磨损性能更优。

应用场景

• 精密磨抛耗材：高去除率缩短研磨时间，降低耗材成本。
• 硬脆材料加工：对硬脆材料实现高效去除，减少加工损伤。
• 光学元件制造：快速研磨石英玻璃，为光学表面抛光奠定基础。
• 陶瓷与玻璃加工：显著提升陶瓷与玻璃的研磨效率。
• 半导体衬底加工：适用于半导体衬底的高效平坦化加工。