外量子效率提升1.7倍
亚波长垂直薄膜结构以更简化的外延层实现导模抑制,显著改善AlGaN基紫外LED的光提取效率。
Xie, Mingyuan · Xiang, Gao · 蒋妍 · 汤现武 · 秦飞飞 · 高绪敏 · 袁佳磊 · 施政 · 王永进
Optics Express 2024
亚波长结构减少了导模数量,使更多光能被耦合出芯片。
无覆层设计使外延结构只需p-n结和多量子阱,无需生长复杂的光限制层。
简化的外延结构直接减少了材料生长时间和工艺步骤,从而降低制造成本。