激光焊接半球谐振腔

品质因数破千万

采用飞秒激光实现谐振器与衬底的无中间层键合，消除传统胶粘工艺的锚点损耗，使能量耗散大幅降低。

Jian, Dunxiang · 士研 · Anye, Su · Xi, Xiang · 肖定邦 · 吴学忠

International Journal of Mechanical Sciences 2025

参数信息

品质因数

11.77 million

衰减时间

639.04 s

技术优势

无中间层键合

飞秒激光直接焊接谐振器与衬底，避免导电胶引入中间层，从而降低锚点损耗对品质因数的限制。

衰减时间创纪录

焊接谐振器的衰减时间达到639.04秒，是目前微型半球谐振器报道的最长值，表明能量损耗极低。

应用场景

• 半球谐振陀螺仪：将高Q谐振器用作角速度敏感单元，提升陀螺仪精度与稳定性。
• 精密导航与制导：提供超高Q敏感元件，满足高精度惯性导航与制导系统对低噪声、低漂移的要求。
• 微机械谐振器：通过无中间层焊接工艺降低锚点损耗，为微机械谐振器实现创纪录Q值。
• 惯性测量单元：将高Q谐振器集成进IMU，可减小陀螺仪随机游走与偏置不稳定性，提升整体性能。