消除死区 温漂降至1.19mg
一阶/二阶模态解耦差分工作,避免测量死区,同时利用结构对称性抑制温漂,大幅提升长期稳定性。
Zhai, Zhaoyang · 王坤峰 · Yang, Wuhao · 邹旭东
Microsystems and Nanoengineering 2025
两个谐振器分别工作在一阶和二阶模态,其频率不会交叉,因此不会发生互相干扰。
利用差分结构的对称性保证温度一致性,差分温度补偿算法将等效加速度漂移从数百mg降至1.19 mg。
室温静态最小Allan方差从约1.5 μg降至0.23 μg@7.15 s,表明长期稳定性显著改善。