双模差分MEMS谐振加速度计

消除死区 温漂降至1.19mg

一阶/二阶模态解耦差分工作,避免测量死区,同时利用结构对称性抑制温漂,大幅提升长期稳定性。

Zhai, Zhaoyang · 王坤峰 · Yang, Wuhao · 邹旭东

Microsystems and Nanoengineering 2025

参数信息

温补后等效加速度漂移
1.19 mg
R1M1温补前漂移
341.6 mg
R2M2温补前漂移
414.6 mg
最小Allan方差
0.23 μg
量程
±5 g

技术优势

消除测量死区

两个谐振器分别工作在一阶和二阶模态,其频率不会交叉,因此不会发生互相干扰。

温漂大幅降低

利用差分结构的对称性保证温度一致性,差分温度补偿算法将等效加速度漂移从数百mg降至1.19 mg。

长期稳定性显著提升

室温静态最小Allan方差从约1.5 μg降至0.23 μg@7.15 s,表明长期稳定性显著改善。

应用场景