硅基GaN压电压力传感器

亚毫秒响应

机械堆叠策略实现外延自由的硅基氮化镓集成，利用压电电子效应获得电学可调的压力响应，兼容CMOS工艺。

Gongwei, Hu · Li, Zeng · 刘敏 · 潘礼庆 · Yong, Chao · Li, Lijie · Huang Wei · Huang, Fobao

ACS Nano 2026

具体参数

压力灵敏度

43.34 meV/MPa

响应时间

<1 ms

技术优势

应变系数 5.8 × 10^6

nn与pn结架构均实现电学可调压力响应