VO₂纳米薄膜

4英寸无损伤剥离

通过亚纳米非晶夹层远程外延，实现晶圆级无衬底氧化钒薄膜，可用作高灵敏红外探测器。

刘畅 · Li, Xing · 汪泱 · 郑志 · Wu, Binmin · 何文浩 · Dong, Xiang · Zhang, Ziyu · Jiayuan, Huang · 安正华 · 郑长林 · 黄高山 · 梅永丰 · Wang, Yang

Nature Communications 2025

技术优势

4英寸晶圆级无衬底VO₂纳米薄膜

红外测辐射热计比探测率高，电流噪声低