薄膜铌酸锂高Q声学谐振器

596 MHz下k₂ 27.7%，铌酸锂体材料两倍

一种悬空铌酸锂薄膜谐振器，避免声波向衬底泄漏，实现高机电耦合与高品质因数，用于紧凑高性能射频滤波器。

戴亚洁 · Hubálková, Jana · Voigt, Claudia · Abendroth, Martin · 梁雄 · 鄢文 · 李亚伟 · Aneziris, C. G.

Journal of Advanced Ceramics 2023

技术优势

k²达27.7%（596 MHz，反谐振频率596 MHz）

Q值3576（596 MHz）

FoM 989（k²×Q）

比体材料铌酸锂谐振器k²高2倍，FoM高近一个数量级

应用场景

• 5G射频滤波器：用于5G射频前端，实现低损耗、宽带滤波器。
• 压电传感器：用作高灵敏度压电传感单元，提高信号转换效率。
• 高精度计时器件：用于高精度振荡器，提供稳定的频率基准。