一种基于二维材料异质结带的NEMS加速度传感器，通过仿真验证其超小尺寸与高灵敏度潜力，为下一代高性能加速度计提供设计基础。
Fan, Xuge · Ding, Jie · 张文东
Materials Horizons 2025
二维材料本身原子级厚度，使得加速度计整体尺寸显著小于传统硅基器件。
二维材料的低刚度和高面内强度，使其在微小加速度下产生更大形变，从而提高检测灵敏度。
仿真覆盖三轴方向，验证了器件对任意方向加速度的响应能力。
提供了完整的仿真数据和设计参数，后续制备可以直接参考。