可控周期表面图案

可控制备

通过调节等离子体暴露参数,在钨表面制备出形状可控的周期图案,为理解等离子体诱导的表面损伤提供了新视角。

Qian, Wei · 郑鹏飞 · 高宁 · Setyawan, Wahyu · Peng, Chen · Liu, Xing · Liu, Yong · Liangting, Sun · Liu, Ming · Che, Tong · Wei, Ran · Jiming, Chen

Acta Materialia 2023

技术优势

在钨表面观察到由低能等离子体诱导的周期图案

通过调节等离子体暴露参数,在钨表面成功制备出形状可控的图案